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VSParticle-P1 納米印刷沉積系統

氣溶膠納米噴印

納米印刷是柔性電子領域重要的區域性沉積技術， VSP-P1 采用特別的氣溶膠沖壓沉積技術，將原材料通過火花燒蝕的方式轉變成納米級氣溶膠顆粒，并在真空系統配合下實現圖案的繪制。該方法避免了傳統噴墨打印需要導電油墨以及后續熱處理去除油墨的弊端，保證圖案的納米結構較大程度的保留，避免產生氣孔等缺陷。

運行原理

氣溶膠顆粒會通過火花燒蝕的方式在前端產生，顆粒經由惰性氣體帶動運輸至噴嘴處，經過真空系統作用，腔室的氣壓會保持在 10mbar 以下，而經由噴嘴噴出的氣溶膠會在基底表面沖壓沉積。而利用 XYZ 軸控制噴嘴的移動，即可實現圖案的繪制。

利用該方法，可輕松實現：

1.  金屬，合金，氧化物顆粒的印刷沉積

2.  無添加劑，無廢液

3.  一步沉積，設備模塊化，前端的氣溶膠發生器可獨立拆卸工作，進行其它方向的納米研究

4.  顆粒初始粒徑可保持在 0-20nm 之間，形成多孔結構

應用領域

· 高通量合金催化劑的篩選

利用氣溶膠噴印在多個通道打印沉積比例不同的合金催化劑，從而快速考查電催化性能。該方法可用于在工業相關電流密度下的流體力學條件下制備和篩選電極材料，可用于確定**催化劑和催化劑制備的穩健性。Ni / Fe 的復合電極被用于進行驗證，64 個不同比例的催化陽極電極在快速篩選后可得到反應電位的變化。

SERS

表面增強拉曼光譜需要精細的 Au, Ag 等納米結構，從而實現對低信號量化學物質的靈敏檢測。利用氣溶膠噴印技術在基底表面快速繪制納米圖案，進行拉曼光譜檢測。這種方法避免添加劑對檢測的干擾，在較低的溫度處理后便可進行后續檢測。

納米印刷結構

在對羅丹明 6G，PMBA，三聚氰胺的檢測中，標準基片表現出了優異的信號增強性能。

氣體傳感器

金屬氧化物 (MOX) 氣體傳感器通過半導體金屬氧化物薄膜的電阻變化來檢測氣體，但氧化物涂層需要溫和的沉積，故而常用的 PVD 與 CVD 手段均不適用。現有方法為利用溶膠凝膠法結合絲網印刷實現區域的沉積。利用氣溶膠噴印直寫可以實現精準的印刷沉積，避免熱處理。