氣動高真空蝶閥

ISO-B TYPE 氣動蝶閥

ISO-KF TYPE 氣動蝶閥

ISO-K TYPE 氣動蝶閥

氣動蝶閥系統設置

A : Pump
B : Htc pneumatic butterfly valve
C : Process chamber
D : Gauge
E : Gas inlet

產品應用

Htc氣動高真空蝶閥是采用旋轉氣缸驅動的真空蝶閥，密封板搭配O-ring的設計，可完全隔絕真空側與大氣側，具有快速開閉、安裝快速、尺寸小，壽命長等優點。

Htc氣動蝶閥的密封設計，可應用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。蝶閥閥門安裝于真空幫浦(pump)與制程腔室（process chamber）間。

設計特征
? 旋轉氣缸驅動，快速開啟關閉
? O-ring完成氣密設計
? 密封板位置指示器
? 任意安裝方向
? 高氣導
? 150萬周期壽命

產品分類
? KF25 / KF40 / KF50
? ISO63 / ISO100 / ISO160 / ISO200 / ISO250

Body / P late / Shaft 材質
不銹鋼 (Stainless steel)

保固條件