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排氣量（m3/h）

150

300

400

540

800

1500

3000

極限真空（Pa）

1

1

1

1

1

2

2

電機功率（kw）

4

5.5/7.5

7.5/11

11

15

30

37

轉速（rpm）

2900

2900

2900

2900

2900

1450

1450

接口（進氣/排氣）

40/40

50/40

65/50

65/50

100/65

125/80

150/100

冷卻水量（L/min）

5-10

10-15

10-15

10-20

10-20

30-40

40-150

齒輪油循環量（L/min）

1

1

1

1

2.5

8

10

密封形式

標準

HV（吸氣側）：雙唇封+雙唇封

LV（排期側）：唇封+機封（帶氣體吹掃）

驅動端：油封

選項

HV（吸氣側）：雙唇封+雙唇封

LV（排期側）：唇封+雙唇封+雙唇封（帶氣體吹掃）

驅動端：油封

密封吹掃氣（L/min）

5-30

大約裸泵重量（kg）

200

300

380

450

600

1200

1500

異型螺桿

等螺距

變螺距

極限真空

~10^-3Torr

~10^-2Torr

~10^-3Torr

排氣溫度（℃）

＜150

150-270

＜200

排氣端表面溫度（℃）

＜100

150-200

＜150

功率消耗

＜70%

100%

＜85%

抽氣

能力

1Torr以下

100%

＜80%

100%

0.1Torr以下  

＞80%

＜50~10%

＞80%

冷卻其他（氮氣或干空氣）

HP-110~660

不需要

需要

需要

噪音（dB）

78~82

82~97

80~85

維修維護

受益于優化的溫度控制，元件連續使用壽命更長。  

由于操作溫度高，元件連續使用壽命短。  

排氣溫度低，但由于處理介質在螺桿里的積存使得維護周期短。