粉體行業在線展覽
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離子束拋光機?FiSy IFS1500I
直接聯系
長沙埃福思科技有限公司
湖南
面議
長沙埃福思
離子束拋光機?FiSy IFS1500I
278
名稱 | 參數 |
加工能力 (**工件尺寸) | **尺寸1500mmx1500mm **厚度500mm |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等 |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 | 亞納米加工精度、可實現面形RMS<1nm超高精度加工 |
X軸行程 | ≥1600mm |
Y軸行程 | ≥1600mm |
Z軸行程 | ≥300mm |
離子源 | 德國射頻離子源 |
中和器 | 德國 |
工作真空建立時間 | ≤1小時 |
副室真空建立時間 | ≤15分鐘 |
保護功能 | 具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故保護、離子源故障保護等 |
智能功能 | 具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能 |
外形尺寸 | 6.4m×3.8m×3.3m |
整機重量 | 16噸 |
能耗功率 | 總功率35kW |
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